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プレスリリース

次世代OPCソリューションをリリース「Calibre nmOPC」-高精度、高性能、RETフローの所有コストを大幅に削減(2006/12/13)

メンター・グラフィックス・コーポレーション(本社米国オレゴン州、日本法人メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社:本社東京都品川区、コーポレート・ヴァイス・プレジデント:パトリック・ウィリアムス、以下メンター・グラフィックス)は、第3世代のOPC(Optical Proximity Correction)ツール「Calibre nmOPC」をリリースしました。これにより65 ナノメータ (nm) 以降のプロセス・テクノロジに対応するCalibre RET(Resolution Enhancement Technology)製品群が大幅に拡充されます。Calibre nmOPCツール並びに対をなすOPC検証ツールCalibre OPCverify(本年1月発表)の連携がもたらす卓越したシミュレーション精度を、業界最高レベルの性能と業界最小の所有コストで提供することにより、コンピュテーショナル・リソグラフィの新しい時代の幕開けを告げます。

Low k1光リソグラフィ プロセスによってナノメータ設計におけるRETの複雑さが増しています。45nmでは、より複雑なOPCモデルの必要性に加え、プロセス・ウィンドウを考慮した補正と検証に対する要求によって処理負荷が大幅に高まります。45nmノードにおけるリソグラフィ上の課題と複雑化する演算処理に対応する上で、リソグラフィツールには高度な処理能力が必要とされています。

Calibre nmOPCは、Denseシミュレーション、プロセス・ウィンドウに最適化されたOPC、コプロセッサによる高速化(Cell BEプロセッサを使用)を活用したハイブリッド・コンピューティング・プラットフォーム、新しいコンパクトなレジストプロセスモデリング機能、設計意図を考慮した補正アルゴリズム等、様々な技術革新を提供することにより上述された課題に対応しています。Calibre nmOPCツールは、クラス最高の精度、処理速度、所有コストを提供します。他のCalibreファミリー製品同様、Calibre nmOPC と Calibre OPCverifyは、完全に統合されたCalibre階層ジオメトリ・エンジン上で動作し、設計からマスクまでの統合されたフローを統一されたコマンド言語で実現します。またCalibre nmOPCは、出力ファイル・サイズを最小化するOASISフォーマット対応、フラットなOPCツールと比較して処理時間とファイルサイズを改善する新しい効率的な階層処理(ストリームライン階層処理)、量産運用環境下でTATを管理するプログレス・メーター、ダイナミックCPUアロケーション機能等、運用上の数多くの実用的な機能を提供しています。

Denseシミュレーション/プロセスウィンドウ・シミュレーション
プロセス変動は、歩留まりに対して重大な影響を及ぼす可能性があります。これはドーズおよびフォーカスの変動がパターン解像忠実性に影響を与えるリソグラフィ・プロセスにおいて特に顕著です。シリコンの故障リスクを低減し、困難なlow k1条件下で許容できる歩留まりを確保するためにCalibre nmOPCは、マスク・レイヤに対して100%のシミュレーション・カバレッジを提供するDenseシミュレーション方式、シリコン・パターン形成を保証するプロセス・ウィンドウの最適化アルゴリズムを使用しています。また、Calibre nmOPCでは、複数のレイヤを入力して補正アルゴリズムに取り入れることができます。これにより、設計にとってクリティカルなフィーチャーは設計意図を保ちつつパターン形成し、パラメトリックな歩留まりを確保します。

ハイブリッド・コプロセッサ・コンピューティング・プラットフォーム
メンター・グラフィックスは、独自コプロセッサ・アーキテクチャの導入によって、ジオメトリの微細化によるCPUニーズ拡大に伴う所有コスト増大問題に対応します。Remote Acceleration Simulation (RAS) アーキテクチャにより、Ethernet接続を介してコプロセッサ・アクセラレーション・クラスタを既存処理クラスタに接続するオプションが可能です。メンター・グラフィックスは、高性能コンピューティング・システム設計をリードするMercury Computer Systemsとの提携により、超高性能Cell Broadband Engine™ (CBE)に基づく標準コプロセッサ・アクセラレーション・クラスタを提供します。Cell Processorクラスタは、Calibre nmOPCの画像処理コンポーネントを高速化することにより、その他の汎用処理において65nmノード時と殆どもしくは全く同等の処理時間を保ったまま、全体で4〜10倍の処理時間の高速化を可能にします。リソグラフィ演算処理にCell Processorを適用する画期的な手法により、業界の所有コスト目標がリセットされ顧客の求めるコスト軽減ニーズに応えます。

「Cell BEはあらゆる種類の画像処理に対して桁違いの性能アドバンテージをもたらすものであり、メンター・グラフィックスの新しいDense方式のイメージング・ソフトウェア技術のような半導体関連アプリケーションには非常に適しているでしょう。メンター・グラフィックスのようなEDA企業によるCell BEの展開により、Cell BEは先端半導体プロセス実現の最前線で貢献できるものと考えます。」IBM CorporationのTechnology Collaboration Solutions部門、Semiconductor Industry Sales、Vice PresidentのAnthony Yu氏はこのように語っています。

コンパクトモデル
メンター・グラフィックスは、今回リリースした第4世代となる新しいコンパクトなレジスト・プロセス・モデルにおいても業界をリードするモデル精度と技術を提供する同社の伝統を守っています。新しいCM1モデルは先行モデルよりも優れた精度を実証し、45nmならびに32nmプロセス世代に対するお客様の要望を満たすと共に、nmOPCのDenseシミュレーション機能とコプロセッサ・アクセラレーションをフルに活用するものとなっています。CM1モデル用に用意された自動化キャリブレーション処理は優れたモデル安定性を実現し、OPCエンジニアは最適化のための難しい選択を行う作業が必要ありません。

「Calibre nmOPCのリリースにより、コンピュテーショナル・リソグラフィ市場におけるメンター・グラフィックスの主導的地位を維持する様々な新技術を投入します。また、実証済みのビジネス・モデルを維持しソフトウェア技術革新で我々のコア・コンピタンスを強化すると共に、Mercuryとの提携により高性能コンピューティング・ハードウェアの提供も行います。」メンター・グラフィックスのDesign to Silicon Division、Vice President and General ManagerのJoe Sawickiはこのように語っています。

Cell Broadband Engineについて
Cell Broadband EngineはSony Computer Entertainment, Inc. の商標です。Cell BEはソニー、東芝、IBMの共同開発によるものです。

Mentor Graphicsはメンター・グラフィックス・コーポレーションの登録商標です。その他記載されている製品名および会社名は各社の商標または登録商標です。